Struktur och egenskaper hos TiCN-tunna filmer framställda genom vakuumförstoftning av silver
Lämna ett meddelande
Struktur och egenskaper hos TiCN-tunna filmer framställda genom vakuumförstoftning av silver
TiCN tunna filmer preparerades på M2 höghastighetstålsubstrat genom att samförstofta grafitmål och titanmål under en blandad atmosfär av kväve och argon. Hårdheten hos den tunna TiCN-filmen detekterades, och indragningsmetoden och skrapmetoden användes för att utvärdera bindningstillståndet för den tunna filmen och substratet. Skärtestet av TiCN-tunnfilmskranen utfördes för att undersöka hållbarheten hos TiCN-tunnfilmen. Resultaten visar att C-atomerna i TiCN-filmen existerar i form av fast lösning i TiN-gittret, orienteringen av TiCN-filmen på (111) kristallplanet är betydligt svagare än TiN-filmens, och brottet av TiCN-filmen är en lång blockstruktur och dess laterala dimension är större än TiN-filmens. Filmen är liten och ytan på TiCN-filmen är ojämn. Bindningskraften mellan TiCN-filmen och substratet är cirka 40N. C-atomer i TiCN-filmen har effekten av att stärka fast lösning och stärka kornförfining. Hårdheten hos TiCN-filmen ökas från 20,3 till 33,4GPa för TiN-filmen. TiCN-film har goda antifriktionsegenskaper och livslängden för TiCN-filmkranar vid gängning av 40Cr-material är betydligt längre än TiN-filmkranar och obelagda kranar.
Förberedelse av TiCN-tunna filmer genom att vakuumförsilvra Solid C-källa
För närvarande använder de flesta av PVD-metoderna CH4 eller C2H2 som C-källa för att framställa TiCN-tunna filmer. Under beredningsprocessen kan TiCN-tunna filmer med olika grundämneshaltsförhållanden och olika egenskaper erhållas genom att justera gasflödesförhållandet. Problemet med denna metod är emellertid att överskottet av kolkällgas kommer att orsaka allvarlig förorening av den inre strukturen av beläggningsmaskinens ugnskropp, och det kvarvarande lösa kolskiktet på ugnsväggen kommer att frigöras under nästa beläggningsprocess, vilket kommer att störa avsättningsatmosfären i filmen. Kontinuerlig produktion är ogynnsam och leder ofta till instabil prestanda hos tunnfilmsarbetsstycken i industriell produktion.
www.superbheater.com
