Hårdhet och elasticitetsmodul för vakuumsilverbeläggningar
Lämna ett meddelande
Hårdhet och elasticitetsmodul för vakuumsilverbeläggningar
S-4800 (Hitachi, Japan) svepelektronmikroskop (SEM) användes för att observera frakturstrukturen och ytmorfologin hos TiCN-filmer, och röntgenenergidispersiv spektrometer (EDS) fäst till instrumentet användes för att analysera elementinnehållet i filmerna. Fassammansättningen och kornstorleken hos beläggningen analyserades med X'PertPro (Philips, Holland) röntgendiffraktionsapparat (XRD). Beläggningarnas hårdhet och elasticitetsmodul analyserades med NanoIndenterXP-testsystemet (Agilent, Amerika). Samtidigt användes indragningsmetoden och scratchmetoden för att utvärdera bindningsstyrkan hos filmen och substratet. Fördjupningsmetoden använde HR-150En Rockwell hårdhetstestare med en belastning på 150 kg; skrapmetoden använde HH-3000 reptestare med en stoppbelastning på 100N. Den vertikala borrmaskinen Z5135 användes för att utföra skärtestet på kranen. Borrmaskinens spindelhastighet var 530r/min, materialet som skulle tappas var 40Cr härdat och härdat stål, och hårdheten efter härdning och härdning var HRC29-32.
Vakuumförsilvrat snabbstål som basmaterial
M2 höghastighetsstål väljs som basmaterial, provstorleken är 6mm × 6mm × 10mm, och flera kranar av samma material med specifikationen Φ10mm förbereds för skärtestet. Sputtrande målmaterial är ett par titanmetallmål (renhet 99,99 procent) och grafitmål (renhet 99,99 procent), och de två typerna av mål (4 mål) är växelvis och jämnt anordnade på beläggningskammarens innervägg. Innan beläggningen maldes provets yta för att avlägsna makroskopiska repor som var synliga för blotta ögat och polerades till en spegelyta. Därefter sandblästrades kranen och provet för att avlägsna kontamineringen av det ytliga skiktet. Efter ultraljudsrengöring torkades den och installerades i ugnen. Evakuera till 9,0×10-3Pa, förvärm arbetsstycket i 60 minuter och använd sedan effekten av argonjonbombardement för att etsa och rengöra substratet under negativ förspänning i 30 minuter. För att förbättra bindningsstyrkan mellan den tunna filmen och substratet, avsätts ett Ti-metallövergångsskikt på substratet av Ti-metallblocket i förångningsdegeln. Slutligen, under ett tryck på 4,5×10-1Pa, preparerades TiCN-tunna filmer genom att samförstofta grafitmål och titanmål under 3 timmar. Kyl i 1 timme efter beläggning och ta ut provet.
www.superbheater.com
