Vilka typer av metallfilmer kan erhållas i PVD-processen för vakuumgalvanisering av elektriska värmerör?

Vilka typer av metallfilmer kan erhållas i PVD-processen för vakuumgalvanisering av elektriska värmerör?

 

Aluminium (AL), Titan (Ti), Titanium Nitride (TiN), Kobolt (Co).

 

När wafern kommer in i PVD-maskinen måste den vanligtvis pläteras med titan/titannitrid/aluminium/titan/titannitrid. Fem lager metall.

 

Kobolts funktion är metallsilicid (silicid).

Vad är principen för PVD-processen för vakuumgalvanisering av elektriskt värmerör?

 

 

En hög potentialskillnad läggs till mellan Target och wafer. Vid denna tidpunkt dissocierar processgasen Ar till Ar plus under den höga potentialskillnaden, och eftersom Ar plus är positivt laddad och attraherad av det elektriska fältet, kolliderar den med målet, vilket gör att målet producerar metallkorn som faller på grund av gravitationen . Till rånet för att bilda en film. Denna process är PVD.

Vad är målet med vakuumgalvanisering av elektriska värmerör?

 

I PVD är målet ett metallmaterial som används för att tillhandahålla en film.

Den grundläggande principen för vakuum galvanisering elektriska värmerör PVD beläggning mål

 

Grundprincipen för fysisk ångavsättningsteknik kan delas in i tre bearbetningssteg:

 

(1) Förångningen av beläggningsmaterialet, det vill säga förångningen av beläggningsmaterialet, som inte liknar sputtering.

 

(2) Migration av elektroplätering av atomer, molekyler eller joner: Olika reaktioner inträffar efter att atomer, molekyler eller joner kolliderar.

 

(3) Elektropläterande atomer, molekyler eller joner avsätts på substratet.

Vakuum galvanisering elektriska värmerör PVD beläggning mål?

 

Physical vapour deposition (PVD) är en tunnfilmsberedningsteknik som fysiskt förångar ytan på ett mål till gasformiga atomer, molekyler eller delar som joniseras till joner under vakuumförhållanden. Den funktionella filmen avsätts på ytan av substratet. De huvudsakliga metoderna för fysisk ångavsättning inkluderar vakuumförångning, förstoftningsavsättning, bågplasmaplätering, jonplätering, etc. PVD-filmavsättningshastigheten är snabb, stark vidhäftning, bra diffraktion och ett brett spektrum av applikationer.

www.superbheater.com