Vakuumvärmekomprimering Bonding Machine Operation Guide and Faruallment

Vakuum Hot Press -bindningsmaskinen används för att täta organiska chips på hård plast som PMMA, PC, COC, etc. .; for medium and low high temperature bonding of substrates such as glass, silicon wafers, wafers, sapphire, quartz, etc. The maximum temperature of the laboratory vacuum hot press is 300℃, the maximum size of the sealed product is 230*200mm, and the maximum thickness is 140mm. It is used for sealing hard plastic chips such as PMMA, PC, COC, och specialutrustning för bearbetning av hårdplastmikrofluidiska chips .

Before turning on the power switch of the vacuum hot press, make sure that the control switch on the working interface is in the off state. Connect the gas circuit, test the operation of the cylinder, press the switch of the control cylinder and then press it again. The cylinder can move up and down, indicating that the gas circuit of the equipment is normal. If the pressure gauge does not work and the Uppvärmningsmodulen fungerar inte, kontrollera om anslutningen mellan tryckmätaren och värmemodulen eller den termiska sensorn är korrekt, eller kontakta företagets tekniker eller underhållsstationen omedelbart .

Driften av Vacuum Hot Press Bonding Machine bör strikt följa följande steg

(1) Kontrollera om nätsladden på den vakuum heta pressbindningsmaskinen, vakuumpumpen och luftkompressorn är korrekt anslutna, kontrollera om gasledningen för varje del är korrekt anslutna och stäng ventilerna och omkopplarna för varje del av systemet .}

(2) Placera chipet för att vara bundet i mitten av arbetsplattformen (eller motsvarande fixtur), justera cylinderns slag, stäng luckan, slå på vakuumpumpen och ta bort luften inuti den heta pressen .}

(3) Tryck på cylinderkontrollomkopplaren för att bestämma trycket på chipet .

(4) Temperaturinställning: Justera de övre och nedre plattens temperaturkontrollvred till önskad temperatur .

(5) Tryck på de övre och nedre plattans temperaturkontrollomkopplare för att starta uppvärmning och bindning av chipet .

(6) När den heta pressbindningen är klar, stäng av de övre och nedre plattans temperaturkontrollomkopplare för att stoppa uppvärmplattan .

(7) Efter att temperaturen har kylts naturligt till processparametrarna, låt in luften för att balansera de inre och yttre trycket

(8) Öppna luckan, pneumatisk luftkylningsläge och påskynda kylhastigheten

(9) När temperaturen sjunker under 50 grader trycker du på cylinderknappen, cylindern lyfter upp och bindningen är klar

Operationsförfaranden och försiktighetsåtgärder för vakuum varmpressningsugn

1. Förbered dig på att slå på kylningsomkopplaren, annars kommer utrustningen att larm på grund av lågt vattentryck .

2. Innan du slår på strömbrytaren måste du kontrollera statusen för varje switch:

1. Värmningsläget ska ställas in på "manuell" växel, och kraftjusteringen bör roteras moturs till botten;

2. Huruvida trycket "Up-stop-down" växelomkopplaren är i stoppläget, och om tryckpotentiometern roteras till det minsta; När ovanstående kontroller är korrekta, slå på huvudströmbrytaren först och slå sedan på den sekundära strömbrytaren .

3. Öppna ugnen och lägg in provet

The furnace is usually in a vacuum state when not in use. Before using it, you should first observe the vacuum state of the furnace. If it is in a vacuum, first slowly inflate the furnace body to normal pressure through the air inlet valve, then use a thousand tops to open the furnace cover, take out the two covers, and put the sample to be fired into the furnace kropp .

Om du sintrar utan tryck, får du inte glömma att både de inre och yttre isoleringsskydden måste täckas, annars kanske temperaturen inte stiger; Om du vill värma sintring måste du ta bort det lilla locket i mitten av det yttersta isoleringsskyddet och det inre isoleringsskyddet innan du kan utföra experimentet .

Obs: När du placerar provet ska du vara försiktig så att du inte berör värmeelementet för att undvika en kortslutning mellan värmelementet och ugnsskalet .

4. Ställ in uppvärmningsprogrammet

1. Uppvärmning: Generellt inställd av programmet är den maximala uppvärmningshastigheten 10 grader /min . Om du vill värma upp snabbt i det tidiga stadiet av experimentet kan du ställa in uppvärmningsläget till "manuell" och justera kraften medurs medurs för att långsamt öka strömmen för att värmas upp; Generellt sett, under 200 grad, kan du värma upp manuellt först, annars kommer temperaturkontrollen att vara felaktig . 1000-2000 grad, infraröd automatisk kontroll av ugnstemperatur kan användas .

Obs: Uppvärmning måste utföras under vakuum; Var uppmärksam på den aktuella mätaren indikation på att den sekundära nominella strömmen inte får överstiga 700A .

2. kylning:

Det kan ställas in genom programmet, eller direkt stänga av uppvärmningen och låt det svalna av sig själv . Obs: Vatten får inte stoppas under kylningsprocessen, annars kommer ugnskropps tätningsring att brännas .}

V . Ställ in tryckprogrammet

1. Förtryckare: Förtrycksskap bör utföras före uppvärmning, och tryckinställningsområdet är vanligtvis mellan 1.0-1.5 MPA; Förtryck kan uppnås manuellt .

2. Pressurization: After the temperature rises to the predetermined temperature, the sample is pressurized. Usually, the program is set to automatically pressurize the sample. The maximum pressure value that the equipment can achieve is 16MPa, which is equivalent to 10t (16MPa=10t).

A: Manuell tryckskap: Rotera tryckiseringspotentiometern och observera förskjutningsindikationen samtidigt . Om förskjutningsförändringen är mycket liten, betyder det att de övre och nedre stansarna har kontaktat provet .} efter att pressningen är klar, vänd "upp-stop"

B: Automatic pressurization: First set the required pressure on the instrument. When the required pressure and the measured pressure are basically the same, turn the "up-down" switch to the up position, observe the displacement and pressure changes, and automatically realize the pressure maintenance and pressure stabilization functions after the rise is in place. After the pressurization is finished, just turn the "up-stop-down" switch to the down position . När botten har uppnåtts, vrid "up-stop-down" -brytaren till stoppläget . Slutligen, stäng av den hydrauliska pumpen .

Obs: När inte trycksättning eller lossning bör trycket ställas in på ett negativt värde och den hydrauliska pumpen bör stoppas . Ställ in cylindern till stoppläget när den inte används, annars kommer det att felaktigt .}

Vakuumpump

Sex, Electric Furnace Dammsugande steg:

Slå på vakuummätaren

1. Låg vakuum: Stäng alla vakuumventiler, starta den mekaniska pumpen, vänta på att den körs normalt (om 1-2 min), öppna den låga vakuumventilen som leder till ugnskroppen, det vill säga den övre fjärilsventilen och förhandsupplutera ugnskroppen;

2. High vacuum: Open the lower butterfly valve, evacuate the diffusion pump, and when the vacuum℃reaches below 15 Pa, turn on the diffusion pump for preheating. Generally, after about 45 minutes, the diffusion pump starts to work, and you can close the upper butterfly valve. At the same time, open the main blocking valve and wait until the Vakuumgraden når över 1 . 33 × 10-1 PA innan du slår på uppvärmningsknappen för att värma provet.

S: Vakuummätaren har två mätare, lågt vakuumområde 1 . 0 × 105-1.0 × 10-1; Högvakuumintervall 1 . 0 × 10-1-1.0 × 10-5 Börja i allmänhet växla på 2Pa . Observera att innan du fyller luften i, bör vakuummätaren stängas av för att förhindra att vakuummätaren från Aging. Obs: Den övre fjärilsventilen och den huvudsakliga blockeringsventilen kan inte öppnas samtidigt.

Sjunde kan den skyddande atmosfären passeras genom argon eller kväve med hög renhet för sintringsskydd .

Inflationstryckområdet är från normalt tryck till 7000pa .

Åttonde, efter experimentet

1. När det inte används, bör ugnskroppen hållas i ett vakuumtillstånd (öppna den mekaniska pump-övre fjärilsventilen för att dammsuga ugnskroppen i ungefär 1 timme, och tryckmätaren bakom ugnskroppen visar mindre än -0.1), annars kommer vakuumeffektiviteten att reduceras nästa tid den används;

2. Stäng av kylningsomkopplaren;

3. Ta bort observationsglaset i vakuumugnen (särskilt observationsfönstret för det infraröda instrumentet) för rengöring;

4. Rengör ytan på den elektriska ugnen för att hålla den ren;

5. Gör relevanta poster i experimentboken .

6. Innan du lämnar, kontrollera om vatten, el, ljus och luftkonditioneringsfönster är stängda . När du har bekräftat att de är korrekta, lås dörren innan du lämnar .