Vakuumgraden hos vakuumbeläggningsmaskinen påverkar direkt beläggningseffekten

Vakuumgraden hos vakuumbeläggningsmaskinen påverkar direkt beläggningseffekten

Vakuumbeläggningsutrustning läckagedetekteringsmetod Tillverkare av vakuumbeläggningsmaskiner inför inspektion av luftläckage är en inspektionsåtgärd för att säkerställa vakuumgraden av vakuumbeläggningsutrustning, kallad läckagedetektering, graden av vakuum direkt påverkar beläggningseffekten, så läckagedetektering är väsentligt Mindre.

I allmänhet genereras luftläckaget i vakuumkammaren från några små hål på kammarväggen eller anslutningspositionsslitsarna före komponenterna. När luftutsugningssystemet evakueras minskar trycket i vakuumkammaren, och tryckskillnaden mellan utsidan och insidan gör att gasen strömmar ut från det höga trycket. Utsidan strömmar in i vakuumkammaren med lågt tryck, vilket gör att vakuumgraden sjunker.

Vakuumbeläggarens elektronstråle kan träffa kanten på degeln

I fallet med onormal vakuumbeläggningsutrustning, när strålströmmen ökas, kan elektronstrålen träffa kanten av degeln eftersom strålpunktens position inte är i mitten eller att strålpunktens position är i mitten , men det förångade materialet penetreras etc. kommer det inte att finnas någon indikation på högt tryck. Detta beror på att högspänningsutgången är ungefär kortsluten, vilket gör att elektronstråleströmmen blir större än det förutbestämda värdet, och huvudströmbrytarröret är i avstängt tillstånd och bär all högspänning, så att den höga -spänningen har ingen utgång. På grund av den överdrivna strålströmmen som orsakas av tändningen, gör överströmssignalen som erhålls i strömdetekteringskretsen R21 att D13-regulatorröret går sönder och leder, BG14, BG15 och BG16 är i ledande tillstånd, och C13 laddas ur genom BG14 och R51 . Gör BG11, BG12, BG13 avstängd snart, BG11-utgången är 0V. BG10 på gatespänningsomkopplingskretsen får insignalen på 0V och stängs av, BG9 slås på omedelbart, den positiva terminalen på 550V är ansluten till katoden på huvudströmbrytarröret genom BG9 och den negativa terminalen är ansluten till huvudströmbrytarrörets port genom D5-rör. Få -550V-bias och ange djupavskärningen, för närvarande finns det ingen indikation på hög spänning.

www.superbheater.com