Magnetron Sputtering Justeringsparametrar för Vakuum Coater

Magnetron Sputtering Justeringsparametrar för Vakuum Coater

Den breda tillämpningen av magnetronförstoftningsbeläggningsutrustning bestäms av teknikens egenskaper, som kan sammanfattas enligt följande: olika material som kan förberedas till mål kan användas som tunnfilmsmaterial, inklusive olika metaller, halvledare, ferromagnetiska materialmaterial, samt isolerande oxider, keramik, polymerer, etc.

Dessutom kan magnetronförstoftningsjusteringsparametrarna ställa in filmens prestanda, särskilt lämplig för beläggning med stor yta, och avsättningsområdet är mer enhetligt.

Vacuum coater magnetron sputtering plasma impedans är låg

Utrustningen för magnetronförstoftningsbeläggning kan framställa en mängd olika tunna filmer, tunna filmer med olika funktioner och kan även avsätta blandningar och sammansätta tunna filmer med blandade komponenter; magnetronsputtringsplasmaimpedansen är låg, vilket resulterar i hög urladdningsström, vid en spänning på ca 500V Urladdningsströmmen kan vara från 1A till 100A (beroende på katodens längd); filmbildningshastigheten är hög och avsättningshastigheten kan ändras från 1 nm/s till 10 nm/s; filmbildningens konsistens är god, även i katoden som är flera meter lång. Vid sputtering kan filmskiktets konsistens fortfarande säkerställas; temperaturökningen hos substratet är låg; energin hos de förstoftade partiklarna är omkring tiotals elektronvolt, filmbildningen är relativt tät och filmbasen är väl bunden.

Uppvärmningstemperaturen för vakuumbeläggningsmaskinens utrustning är för hög:

Eftersom effekten hos diffusionspumpvärmaren inte matchar den märkeffekt, är den för hög, vilket resulterar i en stor mängd ånga, vilket kan orsaka oljeretur, och det kan lösas genom att byta ut den elektriska ugnstråden.

Kylvattenkanalen i vakuumbeläggningsmaskinen är inte jämn eller vattentrycket är inte tillräckligt:

Som ett resultat minskar kylkapaciteten, den övre delen av diffusionspumpen blir varm och oljeångan kan inte flytande göras väl. Lösningen är att ansluta diffusionspumpens inloppsrör med en luftkälla på 4mpa för att blåsa ut skalan, och utloppsröret blåses också med 4mpa. Om fjället är mycket tjockt och fast kan utspädd saltsyra införas. Eller byt ut diffusionspumpen.

www.superbheater.com