Hur mäter man filmtjockleken på vakuumbeläggningsmaskinen?

Hur mäter man filmtjockleken på vakuumbeläggningsmaskinen?

Efter att ha använt vakuumbeläggningsmaskinen för att belägga filmen kan det vara nödvändigt att mäta tjockleken på filmskiktet. Vilken metod används för att mäta tjockleken på filmskiktet?

Den mest direkta beläggningskontrollmetoden är Quartz Crystal Micro-Balance Method (QCM). Detta instrument kan direkt driva förångningskällan och driva baffeln genom PID-kontroll för att bibehålla förångningshastigheten.

Så länge instrumentet är anslutet till systemkontrollmjukvaran kan det styra hela beläggningsprocessen. Men noggrannheten hos (QCM) är begränsad, delvis eftersom den övervakar kvaliteten på beläggningen som avsätts snarare än dess optiska tjocklek.

Även om QCM är mycket stabilt vid lägre temperaturer, blir det mycket temperaturkänsligt vid högre temperaturer. Under långvarig uppvärmning är det svårt att förhindra att sensorn faller in i detta känsliga område, vilket orsakar betydande fel i filmen.

Optisk övervakning är den föredragna metoden för övervakning av högprecisionsbeläggningar eftersom den tillåter mer exakt kontroll av skikttjockleken (om den används på rätt sätt).

Förbättringen i noggrannhet beror på många faktorer, men den mest grundläggande är övervakningen av optisk tjocklek.

Om diffusionspumpen har använts kontinuerligt i mer än 6 månader, är pumphastigheten uppenbarligen långsammare, eller så är driften felaktig. Fyll luften i atmosfären, ta bort det anslutande vattenröret, ta bort den elektriska spisen och skruva av munstycket på första nivån. Tvätta gallblåsan en gång, tvätta den sedan med tvättpulver blandat med vatten och rengör den sedan noggrant med vatten. Efter att vattnet har avdunstat och torkat, installera pumpens gallblåsa, tillsätt ny diffusionspumpolja och sätt tillbaka den i kroppen, anslut vattenröret och installera den elektriska ugnen. disk kan du starta om. Var uppmärksam på läckagedetektering innan du startar om. Metoden är: starta underhållspumpen, stäng dörren och efter några minuter, observera om diffusionspumpens vakuumgrad når 6X10 Pa, annars är det nödvändigt att utföra läckagedetektering.

www.superbheater.com