Elektromagnetiska egenskaper och förbättring av optiska tunna filmer för vakuumsilverjonstråleassisterad avsättning
Lämna ett meddelande
Elektromagnetiska egenskaper och förbättring av optiska tunna filmer för vakuumsilverjonstråleassisterad avsättning
Jonstråleassisterad avsättning kan förändra de elektromagnetiska egenskaperna hos filmer och förbättra prestandan hos optiska tunna filmer.
Eftersom jonassisterad avsättning exakt och oberoende kan justera de relevanta parametrarna för atomavsättning och jonimplantation, och kontinuerligt kan generera beläggningar på flera mikrometer med konsekvent sammansättning vid låga bombardemangsenergier, kan olika beläggningar odlas vid rumstemperatur. Fröfilm för att undvika negativa effekter på material eller precisionsdelar vid bearbetning vid höga temperaturer.
Korrosionsbeständighet och oxidationsbeständighet av vakuumsilverjonstråleassisterad avsättning
Jonstråleassisterad avsättning förbättrar filmernas korrosions- och oxidationsbeständighet. På grund av det täta filmskiktet avsatt av jonstråleassisterad deponering är förbättringen av filmbasens gränssnittsstruktur eller försvinnandet av korngränserna mellan partiklarna på grund av bildandet av ett amorft tillstånd fördelaktigt: stark korrosionsbeständighet hos materialet och motståndskraft mot högtemperaturoxidation.
Jonstråleassisterad avsättning av vakuumförsilvrarplätering ändrar spänningsegenskaperna hos filmer
Jonstråleassisterad avsättning kan förändra filmens spänningsegenskaper och förändringar i dess kristallina struktur. Till exempel, när Cr-film preparerades med 11,5 keV Xe plus eller Ar plus som bombarderade ytan av substratet, fann man att justering av parametrar såsom temperaturen på substratet, energin hos de bombarderande jonerna och ankomstförhållandet för joner till atomer kan förändra spänningen från dragspänning till tryckspänning. Det finns också förändringar i filmens kristallstruktur. Till exempel, vid ett visst jon-till-atom ankomstförhållande har jonstråleassisterad avsättning bättre föredragen orientering än termisk avdunstning avsatta filmer.
Förbättrade mekaniska egenskaper hos filmer genom vakuumsilverjonstråleassisterad avsättning
Jonstråleassisterad avsättning kan förbättra filmens mekaniska egenskaper, förlänga utmattningslivslängden och är mycket lämplig för framställning av oxider, karbider, kubisk BN, TiB och diamantliknande beläggningar. Till exempel, när 200nm SiN-film odlas på 1Cr18Ni9Ti värmebeständigt stål med jonstråleassisterad deponeringsteknik, kan det inte bara hämma initieringen av utmattningssprickor på ytan av materialet, utan också avsevärt minska diffusionshastigheten för utmattningssprickor, vilket har en god effekt på att förlänga dess livslängd.
www.superbheater.com
