Egenskaper för PVD-beläggning av vakuumbeläggare

Egenskaper för PVD-beläggning av vakuumbeläggare

Flerbågsbeläggning och magnetronförstoftningsbeläggning har sina egna fördelar och nackdelar. För att utöva sina respektive fördelar så mycket som möjligt och uppnå komplementaritet uppstår en beläggningsmaskin som kombinerar multibågsteknik och magnetronteknik allteftersom tiderna kräver. I processen finns det en ny metod för multi-bågplätering primer, sedan använda magnetron sputtering för att tjockna beläggningen, och slutligen med multi-båg plätering för att uppnå den slutliga stabila ytbeläggningsfärgen.

Runt mitten av till slutet av 1980-talet uppträdde varmkatodelektronpistolavdunstningjonplätering och varm katodbågsmagnetronplasmabeläggningsmaskin, och appliceringseffekten var mycket bra, så att TiN-beläggningsverktyg snabbt blev populärt. Bland dem används den heta katodelektronpistolen för att förånga jonplätering, koppardegeln används för att värma och smälta det pläterade metallmaterialet, tantalfilamentet används för att värma och avgasa arbetsstycket och elektronpistolen används för att förbättra joniseringshastighet. Styrkan och slitstyrkan är alla bra, och det är svårt att ta bort även genom slipning. Men dessa enheter är endast lämpliga för TiN-beläggning, eller ren metall tunnfilm. För flerskiktsbeläggningar eller kompositbeläggningar räcker det inte, och det är svårt att uppfylla kraven på höghastighetsskärning av material med hög hårdhet och mångfalden av formapplikationer.

För närvarande använder vissa utvecklade länder (som CemeCon i Tyskland, ART-TEER i Storbritannien, Platit i Schweiz) ett obalanserat magnetfält för att ersätta det ursprungliga balanserade magnetfältet, 50KHz mellanfrekvensströmförsörjning för att ersätta den ursprungliga DC-strömförsörjningen, puls Strömförsörjningen har ersatt den tidigare DC-förspänningen, och hjälpanodtekniken har antagits, så att magnetronförstoftningstekniken gradvis har mognat och har applicerats på formbeläggningen i stora mängder. De beläggningar som har producerats stabilt nu inkluderar främst TiAlN, AlTiN, TiB2, DLC , CrN, Zhejiang, Guangdong, Jiangsu, Guizhou, Zhuzhou och andra platser i Kina har också successivt introducerat sådan utrustning, som har potential att utlösa en präriebrand .

www.superbheater.com